SR 110


 

SR 110(Slim Rod Puller)是為了生產西門子法CVD反應爐裡的矽芯棒所設計,晶棒直徑大約7-10mm左右,而高度最高可至2.5公尺。SR 110是一台非常有效率的機種,因為在一個製程裡面就可以同時生產兩根矽芯棒,相較於用CZ法製備再用band sawwire saw切割的方式,可以避免材料Kerf的耗損。除此之外,機台也經過周全的考慮所設計,因此十分容易上手,而且在生產完一組矽芯棒可以立刻生產下一組,這得力於反應室和上方的接收室有著特殊的閥門設計。根據原料棒直徑以及所需矽芯棒長度的不同,一根原料棒可以生產出1250根的矽芯棒。

 

 

  技術參數
  1. 原料棒直徑:25-50 mm
  2. 原料棒長度:最長1000 mm
  3. 原料棒數量:2根
  4. 矽芯棒直徑:7-10 mm
  5. 矽芯棒直徑偏差:±0.1 mm
  6. 矽芯棒長度:最長2500 mm
  7. 矽芯棒數量:2根 (設備可以同時提拉2根矽芯產品)