FZ 30


 

FZ 30PVA TePla目前最大的區熔法長晶爐,其晶棒直徑可達8吋,高度可達2000mm。其設計使機器重心剛好在熔化區內。為了防止外部的 震動,FZ 30還配有自動調整系統和保護系統。此外,主反應室也可 配備氣體參雜裝置。

  技術參數
  1. 最長晶棒長度: 2,700 mm
  2. 最長原料棒長度: 2,000 mm
  3. 晶棒直徑: 最大至200 mm
  4. 拉速: 0 – 30 mm/min