石墨加熱真空爐(COV)


 

石墨加熱真空爐(COV)是高效能且彈性很大、應用範圍很廣的爐子。在各個不同的溫度下、搭配不同的製程氣體,可以做到很多種不同的應用。典型的應用領域是燒結(包含脫蠟)、釬焊、脫氣、熱處理、材料純化、CVD鍍膜等。

COV爐特別適合拿來做為清潔石墨材料以及MOCVD托盤的不純物質,適合應用在LED或是半導體、太陽能等對於材料的純度會有一定的要求的長晶產業。

 

應用範圍:

1,100 °C 熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、還原反應
1,350 °C 熱處理、焊接、脫氣、脫蠟、燒結、CVD鍍膜
1,600 °C  脫蠟、硬金屬燒結、長晶、純化、CVD鍍膜
1,800 °C 無氧陶瓷燒接
2,000 °C 熱裂解、脫氣、純化、燒結
2,200 °C 脫氣、純化、碳化矽燒結、石墨化
        

特點

1.最高工作温度2200℃
2.可用空間:4.5 - 2250 L
3.根據客戶需求,可配置不同數量的獨立加熱區(最多8個)
4.在工作區域內,溫度均勻性達±3°C
5.極限真空1 x10-5 mbar
6.對於壓鑄成形、粉末冶金等工件能高效脫蠟
7.能在可燃性氣體下進行製程
8.所有資料數據接存放於電腦中以人性化界面呈現
9.可選擇直立式或是臥式爐

 

各型號規格:(亦可客製化)

型號:COV 1263 R
工作溫度: 2,200 °C
可用尺寸 (寬x高x長): 1400 x 800 x 2000 mm
可用空間: 2,240 L
功率: 800 kVA

型號: COV 942 R
工作溫度: 1,800 °C
可用尺寸 (直徑x高):  Ø 1500 x 2500 mm
可用空間: 約4,400L
功率: 500 kVA

型號: COV 633 R
工作溫度: 1,600 °C
可用尺寸 (寬x高x長): 450 x 450 x 900 mm
可用空間:約182 L
功率: 120 kVA

型號: COV 231 R
工作溫度: 1,600 °C
可用尺寸 (直徑x高):  Ø 200 x 300 mm
可用空間: 約9.4 L
功率: 25 kVA

型號: COV 131 R
工作溫度: 1,600 °C
可用尺寸 (直徑x高): Ø 150 x 250 mm
可用空間: 約4.4 L
功率: 20 kVA

*若有其他規格需求,歡迎與我們聯繫討論。