開方機 72/475


 

此開方機配有兩個平行的鑽石精密切割片,最適合用來切割直徑介於150mm至200mm的單晶棒(矽晶圓尺寸為125mm x 125mm或156mm x 156mm)。72/475型開方機因配有5個支撐架,因此可一次處理3段800mm或是4段550mm的單晶棒。

  特點
  1. 配有一個手動裝載區及一個全自動裝載區
  2. 可輕易且彈性的處理不同直徑及長度的單晶棒
  3. 極低的投資成本
  4. 長晶完成的單晶棒可不需先行處理即可加工